Оценка влияния компонентов газовой смеси при обработке поверхностей в плазме

Ключевые слова: обработка поверхностей Al2O3, плазма, шероховатость поверхностей ситалла и поликора.

Аннотация

В работе представлены результаты исследования по обработке поверхностей Al2O3 в плазме при различном содержании компонентов газовой смеси. Выявлены зависимости шероховатости поверхностей ситалла и поликора от состава рабочего газа и времени обработки. Выделены особенности плазменной обработки при использовании кислорода. Данная статья описывает влияние добавления О2 в плазму Ar на шероховатость поверхности оксида алюминия.

Keywords: processing of the content of Al2O3, plasma, roughness of the glass-ceramic and polycor texture

Abstract

The studies were carried out on the processing of the content of Al2O3 in plasma at various contents of the components of the gas mixture. The dependences of the roughness of the glass-ceramic and polycor texture on the composition of the working gas and the processing time are revealed. Peculiarities of plasma treatment during oxygen assembly are highlighted. This article showed the effect of adding O2 to Ar plasma on the Al2O3 Surface roughness.