Конкурентоспособное отечественное оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии материалов А3В5

Ключевые слова:

Аннотация

Обладание самостоятельными компетенциями для аппаратного и технологического обеспечения критически важных технологий микро- и оптоэлектроники является определяющим для успешной конкуренции государства на мировом рынке. Важнейшим направлением для радиоэлектронной отрасли является разработка и производство ЭКБ на основе сложных полупроводников А3В5. В докладе представлены результаты одной из последних разработок ЗАО «НТО» - система МЛЭ STE35 для выращивания высококачественных эпитаксиальных гетероструктур на подложках Ø100мм.

Keywords:

Abstract

The availability of independent competencies for hardware and technology provision of critical technologies of micro- and optoelectronics is crucial for successful Russia competition worldwide. The most important direction in radio electronics industry is the development and production of electronic components based on A3B5compound semiconductors. The report presents SemiTEq JSCdevelopment results of MBE STE35 system for growing high-quality epitaxial heterostructures on Ø100mm substrates.