Моделирование распределения газовых потоков в малогабаритных установках плазменной обработки

Ключевые слова: плазменная обработка, газовый поток, откачка, малогабаритная установка, равномерность.

Аннотация

Качество обработки изделий в плазме газового разряда определяется как энергетическими характеристиками самого разряда, так и равномерной концентрацией частиц рабочего газа в межэлектродном пространстве. В статье представлены результаты моделирования распределения газового потока внутри рабочей камеры малогабаритных установок плазменной обработки для трех различных конфигураций систем подачи рабочего газа и вакуумной откачки. Показано, что конфигурация для установок серии отечественных MPC является оптимальной по соотношению равномерности распределения газа, надежности и трудоемкости реализации.

Keywords: plasma treatment, gas flow, pumping, small-sized system, uniformity

Abstract

The quality of treatment processing in gas discharge plasma is determined both by the energy characteristics of the discharge itself and by the uniform concentration of working gas particles in the interelectrode space. The article presents the results of modeling the distribution of the gas flow inside the working chamber of small-sized plasma processing units for three different configurations of the working gas supply system and vacuum pumping systems. It is shown that the configuration for plasma treatment system of the domestic MPC series is optimal in terms of the ratio of gas distribution uniformity, reliability and complexity of manufacturing.