Исследование процесса формирования проводящего покрытия на диэлектрическом эластомере

Ключевые слова: диэлектрические эластичные материалы, устройства герметизации, магнертронное распыление в вакууме.

Аннотация

В настоящей работе обобщены области использования диэлектрических эластичных материалах в элементах нано- и микропозиционирования и устройств герметизации. В качестве масштабирования линейных перемещений используется каскадирование за счет промежуточных электродов. Показаны варианты изготовления электродов. Описаны технологические аспекты принципа формирования электродов магнетронным распылением в вакууме. Исследован параметр шероховатости подложки. Даны рекомендации для качественного получения медных электродов.

Keywords: dielectric elastic materials, sealing devices, magnetron sputtering in vacuum

Abstract

This paper summarizes the areas of using dielectric elastic materials in nano- and micropositioning elements and sealing devices. As a scaling of linear displacements, cascading is used due to intermediate electrodes. Options for manufacturing electrodes are shown. The technological aspects of the principle of formation of electrodes by magnetron sputtering in vacuum are described. The parameter of the substrate roughness has been explored. Recommendations for high-quality production of copper electrodes are given.