Моделирование неоднородности толщины тонких алюминиевых пленок для оценки энергетической щели в джозефсоновских переходах

Ключевые слова: тонике алюминиевые пленки, неоднородность толщины, джозефсоновский переход

Аннотация

В данной работе проводится моделирование процесса теневого осаждения для расчета неравномерности толщины тонких алюминиевых пленок и оценки изменения энергетической щели для выбора оптимального режима осаждения джозефсоновских переходов.

Keywords: thin aluminum films, non-uniformity of the thickness, Josephson junction deposition mode

Abstract

The process of shadow deposition is simulated to calculate the non-uniformity of the thickness of thin aluminum films and to estimate the change in the energy gap to select the optimal Josephson junction deposition mode.