Активная виброизоляция прецизионного высоковакуумного оборудования

Ключевые слова: активная виброизоляция, магнитореологический эластомер, прецизионное высоковакуумное оборудование.

Аннотация

Дано описание системы активной виброизоляции на основе магнитореологических (МР) эластомеров для прецизионного высоковакуумного оборудования. Представлены результаты экспериментальных исследований системы активной виброизоляции и определены коэффициенты передачи амплитуды виброперемещений в низкочастотном диапазоне.

Keywords: active vibration isolation, magnetorheological elastomer, precision high vacuum equipment.

Abstract

A description of an active vibration isolation system based on magnetorheological (MR) elastomers for precision high-vacuum equipment is given. The results of experimental studies of the active vibration isolation system are presented and the transmission coefficients of the amplitude of vibration displacements in the low-frequency range are determined.