Разработка малогабаритных конденсаторов для согласующего устройства высокочастотного источника питания

Ключевые слова: переменный конденсатор, вакуумный конденсатор, согласующее устройство, высокочастотный источник питания, плазма.

Аннотация

В данной    статье описывается разработка малогабаритных конденсаторов, предназначенных для применения в согласующем устройстве высокочастотного блока питания системы плазменной обработки. Проводится оценка необходимых параметров конденсатора и описываются результаты испытаний опытного образца.

Keywords: variable capacitor, vacuum capacitor, matching device, high-frequency power supply, plasma.

Abstract

This article describes the development of small-sized capacitors intended for use in the matching device of a high-frequency power supply of a plasma processing system. The necessary parameters of the capacitor are evaluated and the test results of the prototype are described.