Разработка магнетронной распылительной системы

Ключевые слова: магнетронная распылительная система, магнетрон, вакуумная установка, коэффициент распыления, скорость распыления.

Аннотация

В ходе проведенного литературного анализа была спроектирована водоохлаждаемая магнетронная распылительная система с дюймовой мишенью, разработаны рабочие чертежи деталей, выполнены расчеты коэффициента распыления и скорости распыления мишени из золота.

Keywords:

Abstract

In the course of the literature analysis, a water-cooled magnetron sputtering system with an inch target was designed, working drawings of the parts were developed, and the sputtering coefficient and the sputtering speed of the gold target were calculated.