Толщина модифицированного в плазме слоя пленки полиэтилентерефталата

Ключевые слова:

Аннотация

С использованием сочетания метода рентгенофотоэлектронной спектроскопии и прецизионного травления поверхности кластерами ионов аргона с помощью аргоновой пушки проведено экспериментальное определение толщины модифицированного в плазме слоя пленки полиэтилентерефталата. Установлено, что толщина модифицированного слоя пленок составляет ≤ 20 нм.

Keywords:

Abstract

The experimental definition of the thickness of the plasma modified layer of the poly(ethylene terephthalate) film was carried out using a combination of the X-ray photoelectron spectroscopy method and precision etching of the surface with argon ion clusters with an argon gun,. It was found that the thickness of the modified film layer was ≤ 20 nm.