Эффективные коэффициенты распыления титана, никеля, молибдена и стали 12Х18Н10Т ионами аргона

Ключевые слова: эффективный коэффициент распыления, магнетронная распылительная система, конструкционный материал, ионный поток

Аннотация

Для расчета времени работы катода магнетронной распылительной системы необходимо знать коэффициент распыления материала катода. В работе представлены эффективные коэффициенты распыления металлов ионами аргона в диапазоне энергий ионов от 300 до 450 эВ.

Keywords: effective sputtering yield, magnetron sputtering system, structural material, ion flow

Abstract

When designing magnetron sputtering systems (MSS), it is necessary to know the cathode resource. It is determined by the cathode’s material sputtering yield. Effective sputtering yields of the materials induced by argon ions were obtained. There is a large amount of data on sputtering yields. However, many of them are not obtained for the ion energies that occur in the MSS. The average energy of argon ions was in the range from 300 to 450 eV and was determined as 80% of the discharge voltage. The effective sputtering yields were determined by the cathode MSS mass difference before and after sputtering.