Разработка модуля жидкофазного ионно-плазменного распыления для малогабаритных технологических вакуумных установок

Ключевые слова: жидкофазное магнетронное распыление, металлизированное покрытие, компьютерное моделирование

Аннотация

Приведена актуальность метода жидкофазного магнетронного распыления для металлизированных покрытий микроэлектроники.    Проведено компьютерное моделирование магнитной системы. Разработана конструкция модуля магнетрона для малогабаритной вакуумной камеры.

Keywords: liquid-phase magnetron sputtering, metallized coatings, computer simulation.

Abstract

The relevance of the method of liquid-phase magnetron sputtering for metallized coatings of microelectronics is given. Computer simulation of the magnetic system is carried out. The design of the magnetron module for a small-sized vacuum chamber is developed.