Металлизация порошковых материалов в вакууме

Ключевые слова: тонкопленочные металлические покрытия, металлизация порошков, пылевая плазма

Аннотация

Описаны и проанализированы методы нанесения тонкопленочных металлических покрытий на порошковые материалы. Приведены схемы металлизации порошков методом магнетронного распыления, с помощью пылевой плазмы и методом осаждения из газовой фазы.

Keywords: thin-film metal coatings, metallization of powders, dusty plasma.

Abstract

Methods for applying thin-film metal coatings on powder materials are described and analyzed. Schemes for metallization of powders by magnetron sputtering, dusty plasma, and vapor deposition are presented.