Распыление титана, нитрида титана, молибдена и меди ионами азота и кислорода

Ключевые слова:

Аннотация

В работе представлены экспериментальные данные результатов воздействия ионов реактивных газов на конструкционные материалы (титан, нитрид титана, молибден и медь). Обосновано использование магнетронной распылительной системы для исследования
стойкости материалов в ионных пучках азота и кислорода. Приведены эффективные коэффициенты распыления титана, нитрида титана, молибдена и меди.

Keywords:

Abstract

The work presents experimental data on the effects of reactive gas ions on structural materials (titanium, titanium nitride, molybdenum and copper). The usage of magnetron sputtering system to study the durability of materials in ion beams of nitrogen and oxygen is justified. The effective sputtering yields of titanium, titanium nitride, molybdenum and copper are presented.