Геттерный модуль для понижения стартового вакуума запуска магниторазрядного насоса
Кривенко А.С., Азаров И.А.
Ключевые слова:
Аннотация
Научно-техническая задача, на решение которой направлен проект - создание компактного высоковакуумного поста, обеспечивающего эффективное откачивание газов от атмосферного давления до высокого вакуума.Getter module to lower the starting pressure of magnetic discharge pump.
A.A.Krivenko, I.A.Azarov
Keywords: