Геттерный модуль для понижения стартового вакуума запуска магниторазрядного насоса

Кривенко А.С., Азаров И.А.
Ключевые слова:

Аннотация

Научно-техническая задача, на решение которой направлен проект - создание компактного высоковакуумного поста, обеспечивающего эффективное откачивание газов от атмосферного давления до высокого вакуума.

Getter module to lower the starting pressure of magnetic discharge pump.

A.A.Krivenko, I.A.Azarov
Keywords:

Abstract

Scientific and technical task is the creation of a compact high-vacuum post providing effective pumping of gases from atmospheric pressure to high vacuum