Состояние работ по созданию МЭМС вакуумметров
Чернышенко А.А., Тетерук Р.А., Кувандыков Р.Э.
Ключевые слова:
Аннотация
В статье описывается текущее состояние работ по созданию во ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» вакуумметров по технологии МЭМС.Current state of researches in MEMS vacuum gauges creation.
, R.A.Teteruk, R.E. Kuvandykov
Keywords:
