Оценка влияния мощности разряда магнетронной распылительной системы на энергетическую эффективность распыления

Ключевые слова:

Аннотация

В работе исследованы закономерности эволюции тепловых процессов в мишени и камере МРС, а также описан баланс энергии на катодном узле магнетрона на постоянном токе. Установлено, что основным источником энергии является ионный ток разряда, а наиболее существенные компоненты стока энергии – тепловое излучение, энергия, расходуемая на испарение и распыление, энергия отраженных частиц, энергия, отводимая системой охлаждения магнетрона.

Keywords:

Abstract

The laws governing the evolution of thermal processes in the target and the MSS chamber are investigated, and the energy balance at the cathode node of the magnetron at a constant current is described. It has been established that the main source of energy is the ion discharge current, and the most significant components of the energy drain are thermal radiation, energy consumed for evaporation and sputtering, energy of reflected particles, energy removed by the magnetron cooling system