Результаты применения установки с цилиндрическими катодами для высокопроизводительного нанесения многослойной металлизации толщиной более 20 мкм

Ключевые слова:

Аннотация

В работе исследованы особенности двухстороннего нанесения многослойной металлизации с толщиной проводящего слоя меди более 20 мкм, полученного путем магнетронного распыления цилиндрических катодов. Проведена оценка качества покрытия на основании результатов измерения толщины слоев, шероховатости поверхности, равномерности травления и адгезии при термоциклировании.

Keywords:

Abstract

Key features of double-sided multilayer metallization deposition with copper layer more than 20 µm of thickness formed by magnetron sputtering of rotatable targets were studied and discussed. The quality of metallization was estimated by measurements of thickness, surface roughness, etching uniformity and adhesion at thermo-cycling.