Низкотемпературный синтез вертикально ориентированного графена, легированного азотом или кремнием, произведенного с помощью ICPCVD технологии

Ключевые слова:

Аннотация

Мы представляем новый метод, который сочетает в себе систему ICP с технологией Roll-to-Roll, что позволяет получать вертикально ориентированный графен с использованием пропана в качестве газа-прекурсора и азота или кремния в качестве легирующих примесей.
Эта технология позволяет получать вертикально ориентированный графен с различной морфологией и составом на подложке. Наноструктуры были исследованы методами микроскопии FE-SEM, спектроскопии комбинационного рассеяния света и методами
энергодисперсионного рентгеновского рассеяния.

Keywords:

Abstract

We introduce a new method that combines the ICP CVD with roll-to-roll technology to enable the in situ preparation of vertically oriented graphene by using propane as a precursor gas and nitrogen or silicon as dopants. This new technology enables preparation of vertically oriented graphene with distinct morphology and composition on a substrate. Nanostructures were examined by FE-SEM microscopy, Raman spectroscopy and energy dispersive X-Ray scattering techniques.