Оптические свойства наноструктурированных фторуглеродных пленок и многослойных пленочных структур

Ключевые слова:

Аннотация

Представлены типичные спектры оптического поглощения наноструктурированных фторуглеродных пленок и многослойных структур полиэтилентерефталата (ПЭТФ), модифицированного плазмообразующей газовой смесью CF4+C6H12 с различной концентрацией
CF4 и энергией ионов 1 – 3 кэВ. Рассчитана ширина запрещённой зоны Eg по краю оптического поглощения образцов. Построены зависимости Eg от концентрации CF4. Предложен механизм структурных изменений поверхности ПЭТФ

Keywords:

Abstract

Typical spectra of the optical absorption fluorocarbon nanostructured films and multilayer structures of polyethylene terephthalate (PET) are presented. Their surface is modified by plasma-forming gas mixture CF4+C6H12 with different concentrations CF4 and ion energy 1 – 3 keV. The width of the gap Eg on the edge of the optical absorption of samples is calculated. The dependence of Eg on the concentration of CF4 is shown. A mechanism of structural changes in PET surface is offered.