Оптимизация конфигурации мишени установки магнетронного напыления для синтеза тонкопленочного Pt/C композита для электродов электрохимических сенсоров
Медведева Е.А. , Баранов А.М.
Ключевые слова:
Аннотация
Приведены результаты оптимизации конфигурации мишени установки магнетронного напыления для формирования тонких пленок Pt/C на фторопластовой подложке для дальнейшего использования данных пленок в качестве электродов в электрохимических сенсорах.Optimization of the configuration of the target magnetron sputtering installation for the synthesis of thin-film Pt/C composite for electrodes of electrochemical sensors.
E.A. Medvedeva, A.M. Baranov
Keywords:
