PECVD установки поштучной обработки кремниевых пластин серии labhitiz для формирования гетеропереходов в структурах солнечных элементов HJT

Ключевые слова:

Аннотация

В работе представлена концепция построения вакуумного оборудования поштучной обработки кремниевых пластин для формирования гетеропереходов солнечных элементов. Показано как улучшение качества пассивирующих слоев и снижение дефектности
текстурированной подложки, путем исключения любых механических взаимодействий с ее поверхностью и формированиеи гетероперехода в одном вакуумном цикле, увеличивают эффективность солнечного элемента.

Keywords:

Abstract

The paper presents a concept of the vacuum equipment construction for processing of silicon wafers to form heterojunction solar cells. The ways to increase the solar cells efficiency are: to improve the quality of the passivation layers and to decrease defects in a textured substrate. This takes place due to elimination of any mechanical interaction with its surface and to formation of a heterojunction in the same vacuum cycle.