Композиционный материал ГА/ОГ, полученный методом искрового плазменного спекания, для применения в качестве мишени для магнетронного распыления

Ключевые слова:

Аннотация

Разработана методика смешивания гидроксиапатита (ГА) с 2,5 и 5 об.% оксида графена (ОГ) с последующим изготовлением образцов методом искрового плазменного спекания (ИПС). Был изучен эффект влияния добавления ОГ в ГА на его микроструктуру. Сделан вывод о дальнейшем использовании данной методики для изготовления электропроводящих мишеней для магнетронного распыления.

Keywords:

Abstract

The hydroxyapatite (HA) with 2.5 and 5 vol.% of graphene oxide (GO) composites were fabricated using a colloidal processing route. Obtained powders were sintered using Spark Plasma Sintering as consolidation technique. The effect of GO addition on density and microstructure of sintered composites was studied. It was concluded that the new fabrication method of hydroxyapatite-graphene oxide composites is suitable for electroconductive sputtering targets.