Формирование структурной стабильности осаждаемых покрытий системы Ti-N в процессах вакуумноионноплазменной обработки

Ключевые слова:

Аннотация

Рассмотрено влияние воздействия потока газо-металлической плазмы системы Ti-N на равномерность, структурную стабильность, оцениваемую по изменению элементного состава обрабатываемого поверхностного слоя стали 40Х в зависимости от параметров
процесса. Показано, что интенсивность изменения свойств формируемого поверхностного слоя зависит от параметров процесса осаждения покрытия.

Keywords:

Abstract

The influence of Ti-N gas and metal plasma stream on the uniformity and structural stability is considered. The stability is evaluated by change in the elemental composition of 40H steel surface layer under treatment depending on the process parameters. Dependence of the intensity of change in the properties of the generated surface layer upon the process parameters of the coating deposition is shown.