Синтез трубчатых мишеней TiOx для магнетронного осаждения функциональных слоев низкоэмиссионных покрытий

Ключевые слова:

Аннотация

Выполнены исследования структуры трубчатых мишеней TiOx, формируемых при газотермическом плазменном напылении. Показано, что синтезируемая керамика содержит фазу рутила и аморфную фазу. Поверхностный слой мишени содержит аморфную фазу, фазы
анатаза и нестехиометричные фазы TixO2x-1. Исследована структура слоев TiO2, формируемых методами магнетронного распыления керамических мишеней TiOx, металлокерамических мишеней TiOx-Ti, а также реактивного распыления мишеней Ti.

Keywords:

Abstract

The structure of TiOx rotary targets generated with plasma sprayed coatings has been investigated. It is shown that the synthesized ceramics contains rutile phase and also amorphous phase. The surface layer of the tube target contains an amorphous phase, the anatase phase and nonstoichiometric phases TixO2x-1 The structure of the TiO2 films formed by magnetron sputtering of the formed targets is investigated.