Особенности элементного анализа материалов и пленочных покрытий ионно-пучковыми диагностическими методами

Ключевые слова:

Аннотация

В работе дана исчерпывающая характеристика методов ионно-пучковой диагностики материалов. Обсуждаются преимущества и недостатки этих методов при анализе объемных материальных мишеней, эпитаксиальных и неэпитаксиальных пленочных покрытий и сухих
остатков жидкостей.

Keywords:

Abstract

The work presents exhaustive characterization of ion beam methods possibilities for the material diagnostics. The main advantages and imperfections of the methods are discussed by the bulk material analysis as well as epitaxial and nonepitaxial film coatings, dry residues of liquids and solutions