Магнетронно-лазерное осаждение диэлектрических покрытий с наноразмерными металлическими частицами

Ключевые слова:

Аннотация

Рассматривается методика комбинированного магнетронно-лазерного формирования покрытий, содержащих массив нано- и микроразмерных металлических частиц в твердотельной оксидной диэлектрической матрице. На примере формирования покрытий из
частиц титана в матрице оксида титана представлены условия реализации такой методики. С помощью спектрофотометрии, сканирующей электронной микроскопии и атомной силовой микроскопии сравниваются оптические характеристики, скорость осаждения и топография
поверхности покрытий, полученных комбинированным осаждением, лазерным и магнетронным осаждением в отдельности. Показано значительное различие коэффициентов отражения, пропускания и поглощения, структуры поверхности, а также размеров и поверхностной плотности частиц этих типов покрытий

Keywords:

Abstract

The technique of the combined magnetron-laser forming of the coatings comprising nano- and micro-dimensional metal particles in the solid-state oxide dielectric matrix is considered. The conditions of the technique implementation for the deposition processes of the coatings with titanium particles in the titanium oxide matrix are represented. The methods of the spectrophotometry, scanning electron microscopy and atomic force microscopy were employed for the comparison of the optical characteristics, deposition rate and surface topography of the coatings formed separately by the combined deposition, laser and magnetron deposition. The significant difference of the coefficients of the reflection, transmission, absorption, of the surface structure, of the size and surface density of particles of these coatings types is presented.