Разработка оборудования для получения многослойных функциональных покрытий методом магнетронного распыления
Шашин Д.Е., Сушенцов Н.И., Степанов С.А.
Ключевые слова:
Аннотация
Установка с автоматической системой диагностики и управления работой вакуумного и технологического оборудования.Development of equipment to produce multi-layer functional coatings obtained by magnetron sputtering.
D.E. Shashin, N.I.Sushentsov, S.A. Stepanov
Keywords:
