Нанесение металлических покрытий магнетроном с горячим катодом
Колесник Л.Л., Предтеченский П.О., Жулева Т.С.
Ключевые слова:
Аннотация
В статье приведены результаты экспериментов по нанесению металлических покрытий с помощью магнетрона с горячим катодом.Metal thin film sdeposition using magnetron deposition system with hot cathode
Kolesnik L.L., , T.S.Zhuleva
Keywords:
