Применение акустически стимулированной термодесорбции в производстве электровакуумных СВЧ приборов

Ли И.П., Михайлов В.П., Ханбеков И.Ф., Петров В.С.
Ключевые слова:

Аннотация

В статье описываются недостатки действующей технологии обезгаживания электровакуумных приборов и перспективы использования альтернативных видов десорбции в производстве. Описывается метод ускоренного перевода газовых компонентов, адсорбированных на внутренних поверхностях электровакуумного СВЧ прибора и растворенных в толще металлических и неметаллических деталей изделия в свободный газ за счет одновременного термического и акустического воздействия на корпус прибора.
Приведены сравнения скорости газоотделения при различных технологиях откачки электровакуумных приборов. Дано физическое объяснение механизма термоакустической десорбции газовых компонентов в вакууме.

Implication of acoustically stimulated thermal desorption in production of electro-vacuum microwave devices.

Li I.P., Mikhailov V.P., I.F.Khanbekov, V.S. Petrov
Keywords:

Abstract

Shortcomings of the operating technology of electro-vacuum devices degassing and the prospect of alternative types of desorption use for production are described. The degassing of these elements occurs due to thermal and acoustic factors. Comparisons of gas desorption speed at various technologies of pumping of electro-vacuum devices are given. The physical explanation of the thermo-acoustic desorption of gas components in vacuum is offered