Применение акустически стимулированной термодесорбции в производстве электровакуумных СВЧ приборов
Ли И.П., Михайлов В.П., Ханбеков И.Ф., Петров В.С.
Ключевые слова:
Аннотация
В статье описываются недостатки действующей технологии обезгаживания электровакуумных приборов и перспективы использования альтернативных видов десорбции в производстве. Описывается метод ускоренного перевода газовых компонентов, адсорбированных на внутренних поверхностях электровакуумного СВЧ прибора и растворенных в толще металлических и неметаллических деталей изделия в свободный газ за счет одновременного термического и акустического воздействия на корпус прибора.Приведены сравнения скорости газоотделения при различных технологиях откачки электровакуумных приборов. Дано физическое объяснение механизма термоакустической десорбции газовых компонентов в вакууме.
Implication of acoustically stimulated thermal desorption in production of electro-vacuum microwave devices.
Li I.P., Mikhailov V.P., I.F.Khanbekov, V.S. Petrov
Keywords: