Технология металлизации CVD алмаза перед пайкой с металлической арматурой гиротрона

Ключевые слова:

Аннотация

В статье описана разработка тонкопленочной структуры для металлизации CVDалмаза перед пайкой с медными манжетами, обеспечивающей требуемую термоциклическую надежность спая. Рассмотрены возможные методы металлизации и предложена
оптимальная технология нанесения. Представлен план оптимизации толщин слоев покрытия и выполнены эксперименты по металлизации образцов

Keywords:

Abstract

The article describes the development of thin film structure for metallization of CVD diamond before soldering with copper cuffs that ensures the desired thermal cycling reliability of the junction. The possible methods of plating and the optimum application technique are presented. The plan for optimization of the thickness of coating layers has been considered in this article, and experiments on the metallization of samples are performed.