Управление реакционным объемом в установках, предназначенных для плазменной обработки порошков в условиях низкого вакуума

Ключевые слова:

Аннотация

Исследована возможность управления поведением частиц плазменно-пылевых структур, левитирующих в газовом ВЧ-разряде (13,6 МГц), посредством воздействия на них непрерывных и импульсно-периодических электронных пучков. Выявлены закономерности
воздействия таких пучков на расположение плазменно-пылевой структуры в объеме разряда, пространственное распределение пылевых частиц в различных зонах структуры и характер движения пылевых частиц внутри структуры. Разработана теоретическая модель
управляющего воздействия электронных пучков на свойства плазменно-пылевых структур.

Keywords:

Abstract

The control of particles behavior in plasma-dust structures levitating in the RF-discharge (13.6 MHz) by means of continuous and pulsed electron beams was studied. The beams impact at the location of the plasma-dust structures in the discharge volume, the spatial distribution and the movement of dust particles over the structure was revealed. A theoretical model of the control was developed.