Особенности расчета обратных перетеканий в щелевых каналах безмасляных спиральных вакуумных насосов

Ключевые слова:

Аннотация

Представлены методики расчета обратных перетеканий через торцевые и радиальные каналы спиральных вакуумных насосов в молекулярном, вязкостном и переходном режимах. Показано, что проводимость торцевых каналов можно рассчитывать по
известным формулам для длинной плоской прямоугольной щели. Для радиальных каналов в условиях вакуума необходимо учитывать подвижность стенки спирального элемента, поскольку за счет этого проводимость может изменяться в десятки раз. Рассмотрено
влияние рода газа и геометрических размеров канала на перетекания

Keywords:

Abstract

Backward leakage calculation procedure through face and radial channels of scroll vacuum pumps in molecular, viscous and transient regimes is presented. It is shown that conductance of face channels may be calculated according to well known formulae for a long plane rectangular slot. The mobility of scroll element wall must be considered for radial channels in vacuum conditions because the conductance may vary in a wide range due to this fact. The influence of gas type and channel geometrical dimensions on backward leakage is considered.