Тепловое газовыделение ЭВП СВЧ О-типа

Ключевые слова: КЛИСТРОН, ТЕРМОДЕСОРБЦИЯ, ГАЗОВЫДЕЛЕНИЕ, МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ, ОТКАЧКА

Аннотация

Процесс термовакуумной обработки (ТВО) занимает важное место в технологическом цикле изготовления электровакуумных приборов: получаемая в вакуумном объеме среда во многом определяет работоспособность и долговечность изделия. Однако на сегодняшний день технология проведения ТВО во многом определяется не теоретически обоснованными данными, а исходя из практического опыта производства. В значительной степени такая ситуация сложилась ввиду отсутствия математических моделей, позволяющих с достаточной точностью и за короткий промежуток времени произвести расчет данного процесса. Основной особенностью операции ТВО является сохранение высоких температур обработки в течении длительного промежутка времени. Особую трудность, ввиду разнообразия и сложности протекающих процессов, вызывает математическое описание термического газовыделния с внутренних поверхностей прибора.
Основываясь на анализе массива экспериментальных данных, представляющих из себя масс-спектры различных приборов, полученные на этапе термовакуумных испытаний, определены удельные усредненные значения коэффициентов термодесорбции для ЭВП СВЧ О-типа.
Результаты апробированы на приборе, не участвовавшем в определении значений коэффициентов. Сделаны выводы о возможности применения полученных значений при моделировании процесса термовакуумной обработки ЭВП СВЧ О-типа.

Keywords: KLYSTRON, THERMAL DESORPTION, OUTGASSING, MASS-SPECTROMETRY, PUMPING

Abstract