Разработка установки для исследования сорбционных характеристик газопоглотителей от минус 50OC до +800OC

Ключевые слова: ВАКУУМНЫЙ ПОСТ, МАССПЕКТРОМЕТР, СОРБЦИЯ, ДЕСОРБЦИЯ

Аннотация

При производстве, а также разработке новых типов геттеров важно иметь возможность контролировать сорбционные и десорбционные характеристики геттеров в широком температурном диапазоне, так как они используются в приборах, работающих от -60 °С. до +90°С. С этой целью была разработана установка для таких измерений. Оригинальная часть установки включает масс-спектрометр МИ-1201, вакуумный пост HiCube 80 ЕСО для получения вакуума в объеме с образцом, установки Eltra ONH-2000 для измерения общего количества накопившегося в образце газа с точностью 0.001% по массе. Имеется возможность  проводить как напуск, так и отбор газа в объём от 179 до 3000 см3. Давление в объёме с образцом определялось с помощью масс-спектрометра, в диапазоне 0,2-5•10-4 Па. Натекатель  обеспечивал минимальный отбор газа в процессе измерения,  что составляло 0.01%  от количества газа в камере с образцом за одно измерение. Для определения чувствительности масс-спектрометра использовалась система калибровки анализатора Ströhlein с возможностью подавать 0,95; 0,178; 0,0695; 0,0393; 0,0122 см3 газа при контролируемой, с помощью манометра ОБМВ1-100, области давлений от 103 до 105 Па.. Кварцевая печь обеспечивала  нагрев образцов в диапазоне 30-900°С. Для измерения сорбции при температурах до минус 50°С образцы  помещали в камеру тепла и холода MUCB-20CZG. Представлены  результаты  исследований сорбционных свойств геттера из порошка сплава титан-ванадий. При активации геттеров минимальное давление над образцом составляло 4х10-7 мм.рт.ст. Установка также может использоваться для контроля содержания кислорода в материалах для вакуумных приборов: меди, молибдена,ковара и др.

Keywords: VAKUUMNYY POST, MASSPEKTROMETR, SORBTSIYA, DESORBTSIYA

Abstract