Исследование режимов нанесения никеля методом магнетронного распыления
Желонкин Я.О., Алымов В.В., Каримов К.Н., Карноухов А.Е.
Ключевые слова: МАГНЕТРОН, ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД, НИКЕЛЬ, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ФЕРРОМАГНИТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ, ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА, РАСПЫЛЕНИЕ
Аннотация
Вакуумные методы металлизации, широко применяются для формирования на поверхности изделий и материалов, покрытий со специфическими свойствами, как например: антикоррозионные, износостойкие, антибактериальные, декоративные и т.д., в различных отраслях промышленности, таких как станкостроение, медицина, сельское хозяйство, ядерная энергетика и т.д.,.Одним из часто используемых методов является метод магнетронного распыления, за счет катодного распыления поверхности мишени ионами.Использование ферромагнетиков, материалов, как например Ni или Fe в качестве мишеней для магнетронной распылительной системы, предполагает ограничение. Магнитное поле, создаваемое магнитной системой, шунтируется в толще ферромагнетика, что затрудняет процесс распыления.
Проведено исследование по распылению ферромагнитного материала с помощью планарного протяженного магнетрона, оснащенного разбалансированной магнитной системой. Измерены вольт-амперные характеристики (ВАХ), величина намагниченности внутри трека горения тлеющего разряда на разной дистанции от центра мишени. Проведены исследования по изменению намагниченности, для уменьшения распыления удерживающих планок.
Для исследования использовался магнетрон с никелевой мишенью, без экранов вокруг корпуса с различными модификациями катода в виде полюсных накладок, прорезей, а также полнотелого катода.
Исследовалось моделирование магнитной системы, а также сравнение с экспериментальными данными.
Приведены рекомендации по использованию и особенности процессов.
Study of nickel deposition modes by magnetron sputtering method
Zhelonkin Ya.O., V.V.Alymov, K.K. Karimov, A.E. Karnouhov
Keywords: MAGNETRON, GLOW DISCHARGE, NICKEL, MAGNETRON SPUTTERING, FERROMAGNETIC MATERIALS, VOLT-AMPERE CHARACTERISTIC, SPUTTERING
