Низкотемпературный синтез ультратонких многослойных структур
Абдуев А.Х., Ахмедов А.К., Асваров А.Ш., Генералов Д.В., Николаева Д.В., Беляев В.В., Саенко В.В., Сметанин Е.А.
Ключевые слова: ЦЕНТРЫ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ, МИГРАЦИЯ АТОМОВ, КОАЛЕСЦЕНЦИЯ, ГРАНИЦЫ ЗЕРЕН
Аннотация
Развитие гибкой прозрачной электроники ставит задачу разработки коммерчески привлекательных технологий формирования нанокристаллических, рентгеноаморфных и аморфных функциональных слоев на полимерных носителях. Важной задачей при этом является сохранение производительного базового (магнетронного) метода формирования слоев.Модельными объектами исследований являлись слои ZnO. Выполнен анализ процессов взаимодействия реагентов по поверхности, условий низкотемпературной миграции атомов и формирования зародышей, их коалесценции в зависимости от соотношения Zn/O. Данные вопросы изучены на основании литературных материалов и результатов исследований авторов. Исследованы механизмы формирования структуры ультратонких оксидных слоев в условиях, далеких от равновесных. Проанализированы условия формирования структуры ультратонких слоев из нестехиометричных потоков реагентов.
Low-temperature synthesis of ultrathin multilayer structures
Abduev A.Kh., Akhmedov A.K., Asvarov A. Sh., D.V.Generalov, D.V.Nikolaeva, V.V.Belyaev, V.V. Saenko, E.A. Smetanin
Keywords: CRYSTALLIZATION CENTERS, ATOMIC MIGRATION, COALESCENCE, GRAIN BOUNDARIES
