Моделирование характеристик островковой тонкой пленки

Сидорова С.В., Кирьянов С.В. , Щербак Е. С., Наумаова А. М.
Ключевые слова: ОСТРОВКОВАЯ ТОНКАЯ ПЛЕНКА, МАГНИТОРЕЗИСТИВНОСТЬ, ПРОВОДИМОСТЬ, ФИЗИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

Аннотация

В рамках современных технологических требований, постоянно возрастающего развития электронной промышленности, существует потребность в усовершенствовании функциональных характеристик устройств при одновременном уменьшении их размеров. В этом контексте значительное внимание уделяется исследованию несплошных металлических покрытий, особенно на этапе формирования островковых наноструктур, так как они обладают уникальными свойствами проводимости, благодаря размерным эффектам. Наноразмерные элементы, изготовленные из Co и Ni, обладают малоизученными магнитными свойствами, которые сильно отличаются от свойств объемных магнитов. Контролирование таких свойств при изготовлении устройств открывает новые горизонты для создания магнитных датчиков новейшего поколения, характеристики которых можно настраиваемо изменять для применений в различных сферах деятельности человечества. Островковые тонкие пленки из Sn и Al также находят свое применение в создании газовых сенсоров, где они проявляют уникальные свойства проводимости.
Целью работы является физическое моделирование островковых тонких пленок для определения взаимосвязи их геометрических параметров и физических характеристик.
Изучались модели однослойной и многослойной ОТП из Al и Sn и слоев Co и Ni, разделенных слоем Al2O3, соответственно. Моделирование осуществлялось в среде COMSOL Multyphysics. В результате моделирования определена взаимосвязь коэрцитивной силы островковых тонких пленок и их размеров, отмечено отличие магнитных характеристик от сплошных покрытий. Определены параметры проводимости островковых покрытий и установлена взаимосвязь размеров структур с их геометрическими характеристиками.

Modeling of insular thin film characteristics

Sidorova S.V., S.V. Kiryanov, E.S. Scherbak, A.M. Naumova
Keywords: INSULAR THIN FILM, MAGNETORESISTIVITY, CONDUCTIVITY, PHYSICAL MODELING

Abstract