Активные виброзащитные системы для вакуумного оборудования
Михайлов В.П., Казаков А.В. , Аунг Мьят Хейн
Ключевые слова: АКТИВНАЯ ВИБРОЗАЩИТА, АМПЛИТУДНО-ЧАСТОТНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА, МАГНИТОРЕОЛОГИЧЕСКИЕ ЭЛАСТОМЕРЫ
Аннотация
К вакуумному оборудованию, применяемому для выполнения технологических операций с полупроводниковыми материалами, предъявляют крайне высокие требования по точности перемещения и позиционирования рабочих органов, таких как манипуляторы, координатные столы, сканеры и др. Прецизионные механизмы микро- и наноперемещений чувствительны к внешним воздействиям, среди которых отдельно следует выделить вибрационные возмущения. Наличие фоновых вибраций в лабораториях и производственных помещениях приводит к необходимости вибрационной защиты технологического оборудования. Для виброзащиты прецизионного вакуумного оборудования широко применяются системы пассивной и активной виброизоляции, основанные на различных физических принципах: пьезоэлектрические, пневматические, гидравлические, электромагнитные и др.Проведен обзор применяемых в настоящее время устройств активной виброзащиты прецизионного вакуумного оборудования, основанных на различных принципах работы, в том числе платформ на основе магнитореологических эластомеров, представлены перспективные разработки таких систем. Даны их сравнительные параметры: диапазоны рабочих частот, коэфициенты передачи амплитуды виброперемещений, амплитудно-частотные характеристики и др.
Active vibration protection systems for vacuum equipment
Mikhailov V.P., Kazakov A.V. , Aung Myat Hein
Keywords: ACTIVE VIBRATION PROTECTION, AMPLITUDE-FREQUENCY CHARACTERISTIC, MAGNETORHEOLOGICAL ELASTOMERS
