вакуумный линейный привод для установки ионной имплантации пластин
Михайлов В.П., Шахов Д.С., Пьае Сон Хейн
Ключевые слова: ВАКУУМНЫЙ ЛИНЕЙНЫЙ ПРИВОД, ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ, ЭЛЕКТРОРЕОЛОГИЧЕСКАЯ ЖИДКОСТЬ, СКОРОСТЬ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ
Аннотация
В оборудовании ионной имплантации существует задача точного и плавного перемещения полупроводниковой пластины относительно ионного пучка. В таких установках сочетается ряд параметров, которые сложно обеспечить классическим приводом, а именно необходимость перемещения массивного объекта – каретки с закрепленной на ней пластиной, большой диапазон перемещений, вакуумная технологическая среда, а также высокая точность поддержания скорости для обеспечения равномерности обработки пластины.Поставленная задача может быть успешно решена за счет применения механизмов на основе интеллектуальных материалов, в частности, за счет использования электрореологической жидкости (ЭРЖ). Это суспензия непроводящих твердых частиц, поляризующихся под действием внешнего электрического поля.
Гидравлические приводы, в которых рабочей жидкостью является ЭРЖ, обладают всеми преимуществами классических гидравлических приводов, в том числе, высокой нагрузочной способностью, высокой скоростью и большим диапазоном перемещений. Также использование ЭРЖ с её уникальными свойствами позволяет обеспечивать очень высокую точность поддержания скорости перемещения гидравлических систем.
Объектом исследований является линейный привод для сканирования пластин в установке ионной имплантации. В работе представлены различные варианты конструкции вакуумного механизма перемещений, а также результаты исследования свойств ЭРЖ для эффективного управления скоростью перемещения привода.
Vacuum linear drive for the ion implantation installation of plates
Mikhailov V.P., D.S.Shakhov, Pyae Sone Hein
Keywords: VACUUM LINEAR DRIVE, ION IMPLANTATION, ELECTRORHEOLOGICAL FLUID, MOVEMENT SPEED
