Оценка производительности электрофизической высоковакуумной откачной системы на основе электронно-лучевой технологии
Кунин Е.А.
Ключевые слова: ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК, ОТКАЧНАЯ СИСТЕМА, МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ, ИОННАЯ КОМПОНЕНТА
Аннотация
Современный уровень техники имеет узкую номенклатуру высоковакуумных немеханических откачных систем, к которым относятся сорбционные, криогенные и ионно-геттерные насосы. Перечисленные устройства имеют множество эксплуатационных недостатков, таких как ограниченное предельное остаточное давление, высокая степень селективности откачки, сложность откачивания легких и инертных газов, необходимость периодической регенерации, конечная емкость, зависимость от эксплуатационных условий и т.д.Ранее в работе [1] был предложен альтернативный способ откачки газовой среды, исключающий обозначенные проблемы. В рамках данной работы, на основе описанной концепции, была разработана конструкция электронно-лучевой откачной системы и составлена математическая модель динамики электронного пучка и соответствующей ионной компоненты. Параметризация в математической модели основных геометрических размеров и электрофизических характеристик устройства позволила дать оценку производительности системы в различных конфигурациях и режимах работы при взаимодействии с различной откачиваемой средой для определения наиболее оптимальных значений рассматриваемых параметров.
Performance assessment of electrophysical high-vacuum pumping system based on electron beam technology
E.A. Kunin
Keywords: ELECTRON BEAM, PUMPING SYSTEM, MATHEMATICAL MODEL, IONIC COMPONENT
