Разработка и исследование эталонных средств измерений для обеспечения единства измерений молекулярных потоков газа в вакууме

Ключевые слова: МЕТРОЛОГИЯ, МЕРЫ ПОТОКА (ТЕЧИ ГЕЛИЕВЫЕ), ПОВЕРКА (КАЛИБРОВКА)

Аннотация

Своевременное и регулярное метрологическое обеспечение мер потока (течей гелиевых) и течеискателей масс-спектрометрических гелиевых необходимо для получения достоверных данных при испытаниях на герметичность масс-спектрометрическим методом готовой продукции на предприятиях различных отраслей промышленности.
В настоящее время в РФ поверка мер потока (течей гелиевых) и течеискателей масс-спектрометрических гелиевых осуществляется в соответствии с Локальной поверочной схемой для средств измерений потока газа в вакууме в диапазоне 10-13 - 1∙Па∙м3/с, что позволяет обеспечить прослеживаемость исходного государственного вторичного (рабочего) эталона единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006 к государственному первичному специальному эталону единицы давления для области низких абсолютных давлений ГЭТ 49-80, а также регламентирует передачу единицы измерений от рабочих эталонов к средствам измерений
В качестве рабочих эталонов во ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» были разработаны и исследованы установки УВПЭ и УВПМЭ, предназначенные для измерений потока газа в вакууме, а также поверки и калибровки мер потока газа в вакууме (течей гелиевых). Установки позволяют предприятиям самостоятельно проводить поверку и калибровку средств измерений.

Keywords: METROLOGY, TEST LEAKS (HELIUM LEAKS), CALIBRATION

Abstract