Платформа для активной виброизоляции вакуумного оборудования
Михайлов В.П., Копылов А.А.
Ключевые слова: АКТИВНАЯ ВИБРОИЗОЛЯЦИЯ, МАГНИТОРЕОЛОГИЧЕСКИЕ ЭЛАСТОМЕРЫ, АВТОМАТИЧЕСКОЕ РЕГУЛИРОВАНИЕ
Аннотация
Важнейшей задачей обеспечения качества работы технологического оборудования является его эффективная защита от внешних вибрационных воздействий в области низких частот, при которых проявляются резонансные явления. Это особенно важно при интенсивном развитии нанотехнологий, которые реализуются в основном за счет использования сверхвысоковакуумного оборудования, элементы которого имеют низкую жесткость (тонкостенные вакуумные камеры, сильфоны, вводы движения в вакуум и др.) и соответственно, низкие резонансные частоты. Наибольшей эффективностью обладают современные системы, объединяющие в себе активную и пассивную виброизоляцию. В зависимости от типа исполнительного механизма активные системы можно разделить на следующие группы: гидравлические, пневматические, электромагнитные, пьезоэлектрические, магнитострикционные, магнитореологические и др.Дано описание платформы активной виброизоляции на основе магнитореологических эластомеров для вакуумного оборудования. Разработана математическая модель системы автоматического регулирования активного демпфера с последующим моделированием процесса в среде Simulink MATLAB. Представлены результаты экспериментальных исследований платформы и определены коэффициенты передачи амплитуды виброперемещений в низкочастотном диапазоне.
Platform for active vibration isolation of vacuum equipment
Mikhailov V.P., Kopylov A.A.
Keywords: ACTIVE VIBRATION ISOLATION, MAGNETORHEOLOGICAL ELASTOMERS, AUTOMATIC CONTROL
