Исследование условий формирования нитевидных наноразмерных кристаллов на поверхности автоэлектронных катодов магнетронов с безнакальным запуском
Ли И.П., Леденцова Н.Е., Бычков Д.В., Шуманов А.В., Капустин В.И.
Ключевые слова: автоэлектронная эмиссия, нановискеры, травление, pd-ba катоды, магнетрон
Аннотация
Запуск безнакальных магнетронов в режим генерации обусловлен током автоэлектронной эмиссии с вискеров, формирующихся на дисклокациях поверхности танталовых автокатодов в процессе активирования катодно-подогревательного узла (КПУ). При уровне тока автоэлектронной эмиссии, не достаточном для запуска магнетрона, катоды проходят дополнительную диодную тренировку, которая увеличивает временной цикл обработки лампы и включает в себя использование дополнительных производственных ресурсов. В представленной работе отражены результаты исследований влияния дефектов поверхности танталовых шайб, искусственно созданных посредством ионного и химического травления, на процессы роста нановискеров. Рассмотрена возможность использования вольфрамовых и ниобиевых шайб в качестве автокатодов для магнетронов с «холодным» катодом.Researching conditions for formation of filamentous na-noscale crystals on surfaces of field emission cathodes of mag-netrons with initial start
Li I.P., N.E. Ledentsova, D.V. Bychkov, A.V. Shumanov, V.I. Kapustin
Keywords: field emission, nanowhiskers, etching, pd-ba cathodes, magnetron