Плазменная обработка в вакууме оксида алюминия

Ключевые слова: плазма, вакуум, плазменное травление, оксид алюминия, профилометр, активация по-верхности, шероховатость поверхности

Аннотация

В работе представлены результаты исследования по обработке поверхностей Al2O3 в плазме при различном содержании компонентов газовой смеси. Выявлены зависимости шероховатости поверхности полученного магнетронным методом оксида алюминия от состава рабочего газа и времени обработки. Выделены особенности плазменной обработки оксида алюминия при использовании кислорода. Данная статья показывает влияние добавления кислорода в газовую смесь с аргоном на шероховатость поверхности оксида алюминия.

Keywords: plasma, vacuum, plasma etching, aluminum oxide, profilometer, surface activation, surface roughness

Abstract

In this work, studies were carried out on the processing of the content of Al2O3 in plasma at various contents of the components of the gas mixture. Dependences of the surface roughness of aluminum oxide obtained by the magnetron method on the composition of the working gas and the processing time are revealed. The features of aluminum oxide plasma treatment using oxygen are highlighted. This article shows the effect of adding oxygen to a gas mixture with argon on the surface roughness of aluminum oxide.