Магнетрон с сэндвич мишенью. Основы физико-химической модели реактивного распыления

Ключевые слова: реактивное магнетронное распыление, сэндвич мишень, модель, оксид тантала, оксид титана, твердый раствор двух оксидов

Аннотация

В работе представлена неизотермическая физико-химическая модель для реактивного распыления сэндвич мишени, содержащей на одной оси две пластины, изготовленные из разных металлов. Новую модель описывает система, включающая четырнадцать алгебраических уравнений, которая в частных случаях одиночной холодной или горячей мишени упрощается до восьми уравнений. С помощью разработанной модели был выполнен анализ реактивного распыления сэндвич мишени, предназначенной для осаждения пленок бинарного твердого раствора оксидов TixTa1–xO.

Keywords: reactive magnetron sputtering, sandwich target, model, tantalum oxide, titanium oxide, double solid solution of oxides

Abstract

The paper presents a non-isothermal physicochemical model for reactive sputtering of a sandwich target containing two plates made of different metals on the same axis. The new model is described by a system that includes fourteen algebraic equations, which in particular cases of a single cold or hot target is simplified to eight equations. The developed model was used to analyze the reactive sputtering of a sandwich target intended for the deposition of films of a binary solid solution of TixTa1–xO oxides.