Унифицированные шлюзовые загрузочные устройства для сверхвысоковакуумного оборудования

Ключевые слова: шлюзовые загрузочные устройства, высокий и сверхвысокий вакуум, узлы трения, газовыделение, время откачки

Аннотация

Проанализированы варианты шлюзовых загрузочных устройств для вакуумного технологического оборудования. Приведены результаты расчетов изменения давления и времени откачки рабочих камер для различных вариантов шлюзовых загрузочных устройств. Показаны способы уменьшения газовыделения из узлов трения сверхвысоковакуумных механизмов.

Keywords: load lock devices, high and ultra-high vacuum, friction pair, gas desorption, pumping time

Abstract

Types of load lock devices for vacuum technological equipment were analyzed. Calculation results of pressure and pumping time for different types of load lock devices were represented. Methods of gas desorption decrease from friction surfaces of ultra-high mechanisms were shown.