Исследование процессов ультразвукового активирования диффузии и десорбции в электровакуумных приборах

Ключевые слова: сверхвысокочастотный электровакуумный прибор, десорбция, диффузия, термическое воздействие, ультразвуковое активирование, парциальное давление, откачка.

Аннотация

Представлены результаты исследования десорбции газа с внутренних поверхностей и диффузии из толщи деталей сверхвысокочастотных электровакуумных приборов за счет одновременного термического и ультразвукового воздействия на корпус прибора. Приведены сравнения парциальных и общих давлений при различных условиях откачки. Дано физическое объяснение механизма ультразвукового активирования процессов диффузии и десорбции газовых компонентов в вакууме.

Keywords: microwave electro-vacuum device, desorption, diffusion, thermal action, ultrasonic activation, partial pressure, pumping

Abstract

The results of the study of gas desorption from the internal surfaces and diffusion from the thickness of the parts of microwave electro-vacuum devices due to simultaneous thermal and ultrasonic effects on the device body are presented. Comparisons of partial and total pressures under different conditions of pumping are given. The physical explanation of the mechanism of ultrasonic activation of the diffusion processes and desorption of gas components in vacuum is given.