Вакуумный двухкоординатный механизм перемещений с электрореологической регулировкой скорости

Ключевые слова: вакуум, двухкоординатный привод, пневматика, гидравлика, электрореологическая жидкость, скорость перемещения.

Аннотация

Во многих областях современных нанотехнологий, осуществляемых в вакууме, требуется перемещение объектов с высокой точностью. В работе рассмотрен вакуумный двухкоординатный пневмогидравлический привод, способный осуществлять точные перемещения. Высокая точность механизма достигается за счет применения в качестве рабочей жидкости гидравлической части интеллектуального материала, электрореологической жидкости, способной мгновенно изменять свои реологические свойства под действием внешнего электрического поля.
В работе экспериментально установлено, что наиболее эффективная регулировка скорости перемещения штока привода осуществляется на низких давлениях в пневмоцилиндре с концентрацией дисперсной фазы рабочей жидкости 25 %.

Keywords: vacuum, two-axis drive, pneumatics, hydraulics, electrical rheological fluid, movement speed.

Abstract

In many areas of modern nanotechnological processes, taking place in vacuum it is required to move objects with high precision. The paper considers a two-axis vacuum pneumohydraulic drive capable of performing precise movements. High precision of the mechanism is achieved due to the use of intelligent material as a working fluid of the hydraulic part, an electrorheological fluid that can instantly change its rheological properties under the action of an external electric field. It has been experimentally established that the most effective adjustment of the movement speed of the drive rod is carried out at low pressures in the pneumatic cylinder with a concentration of the dispersed phase of the working fluid of 25%.