Система диагностики свв механизмов

Ключевые слова: диагностика отказов, трение, пьезонатекатель, частотный анализ, СВВ механизмы, газовыделение, физика трения

Аннотация

Разработанная в МГТУ система диагностики вакуумных механизмов позволяет заблаговременно предсказывать отказы. Зная регрессионную зависимость вероятности отказа от значения контролируемого параметра, мы составляем вероятностный прогноз остаточного ресурса работы механизма. В качестве информационного сигнала могут используются колебания давления в вакуумной камере, и этот метод удобно использовать в высоко- и сверхвысоковакуумном оборудовании, когда информационный сигнал не подавляется шумовыми сигналами.

Keywords: failure diagnostics, friction, piezoelectric valve, frequency analysis, UHV mechanisms, outgassing, physics of friction

Abstract

The system for diagnostics of vacuum mechanisms developed at MSTU makes it possible to predict failures in advance. Knowing the regression dependence of the probability of failure on the value of the controlled parameter, we make a probabilistic forecast of the residual life of the mechanism. Pressure fluctuations in a vacuum chamber can be used as an information signal, and this method is convenient to use in high- and ultra-high-vacuum equipment, when the information signal is not suppressed by noise signals