Прецизионная подача газов в вакуумный реактор технологического оборудования с термокоррекцией внешней среды

Ключевые слова: РРГ, регулятор массового расхода газа, вакуумное оборудование, температурная коррекция, приведенная погрешность регулирования расхода газа, цифровая плата с микроконтроллером

Аннотация

Работа посвящена термокоррекции теплового регулятора массового расхода газа (РРГ) при подаче рабочего газа в вакуумный реактор технологического оборудования.
Определена связь температуры корпуса РРГ с дополнительной приведенной погрешностью регулирования РРГ по температуре и температурой внешней среды.
На основе полученных в работе данных на базе аналогового РРГ создан цифровой РРГ с прецизионной точностью подачи рабочего газа в вакуумный реактор технологического оборудования в достаточно широком диапазоне температур внешней среды.

Keywords: MFC, gas mass flow controller, vacuum equipment, temperature correction, reduced error of gas flow control, digital microcontroller

Abstract

The work is devoted to thermal correction of the thermal mass flow controller (MFC) when the working gas is supplied to the vacuum reactor of technological equipment. The relationship of the MFC body temperature with the additional reduced temperature control error of MFC and the ambient temperature is determined. Based on the obtained data, based on analog MFC a digital MFC is created with precision accuracy flow of the working gas in the vacuum reactor process equipment in a rather wide range of ambient temperatures.